OP5240I（膜厚儀）
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關鍵詞：
半導體設備、半（bàn）導體工藝
所屬分類：
產品描述
Opti-Probe 5000 用於非接觸式晶圓膜厚測量，通過測量單層或多層晶圓上薄膜的光學（xué）參數（反射光和建模的薄膜參數），計算出薄膜厚度。Opti-Probe 5000 集（jí）成了（le）多達六種不同的技術來測量薄膜厚度以及反射率，使用 laser，white light lamp，D2 lamp 等光源進行測量。
產品詢價
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