OP5340(膜(mó)厚儀)

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關鍵(jiàn)詞:

半導(dǎo)體設備、半導體工藝

所屬分(fèn)類:

產品谘詢(xún):

產(chǎn)品描述

Opti-Probe 5000 用於非(fēi)接觸式晶圓膜厚測量,通過測量單層或(huò)多層晶圓上薄(báo)膜的光學(xué)參數(反射光和建模的薄膜(mó)參數),計(jì)算出薄膜厚度。Opti-Probe 5000 集成(chéng)了多達六種不同的(de)技術來測量薄膜厚度以及反射率,使用 laser,white light lamp,D2 lamp 等光源進行測量。

產品詢價

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